万业企业的大束流离子注入机通过验证验收

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万业企业在科创板互动平台上表示,凯世通自主研发的低能大束流离子注入机、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机,均已通过主流12英寸集成电路芯片制造工厂的验证验收。
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