中瓷电子产品大规模应用于国产半导体关键设备

公司已成功开发了精密陶瓷零部件所需的氧化铝和氮化铝核心材料，以及配套的金属化体系。通过建立完善的制造工艺平台，公司研发的陶瓷加热盘产品的核心技术指标已达到国际水平，并通过了用户的验证。这使得关键零部件的国产化成为可能，并已在国内半导体关键设备的生产中得到大规模应用。