据ASML公司高管透露,NM=0.55的EUV光刻机将在今年底出货首个商用原型,并在2025年正式量产。这款光刻机是半导体工艺进入7nm节点后的关键设备,目前来说,这款光刻机由ASML独家制造,单台售价高达10亿元人民币。随着技术的提升和不断的精密化,新款EUV光刻机的价格也将大幅上涨,据传说,价格不会低于4亿美元,也就是接近30亿元人民币,是现在的2-3倍。